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    單碟式真空傳輸系統（loadlock）
    更新時間：2023-01-29 09:49:25 字號：T|T
    該設備是兼容高真空環境的自動傳輸系統。傳輸室與工藝腔室通過傳輸閥連接，通過機械手在傳輸室和工藝室內傳輸產品，可消除在每個基片循環期間工藝室排氣和排空過程，提高系統效率。
     
           

    1、產品用途
           該設備是兼容高真空環境的自動傳輸系統。傳輸室與工藝腔室通過傳輸閥連接，通過機械手在傳輸室和工藝室內傳輸產品，可消除在每個基片循環期間工藝室排氣和排空過程，提高系統效率。


    2、技術參數

    基片規格

    12"(向下兼容)

    工位數

    單工位

    腔體材料

    鋁/不銹鋼

    真空機械手

    升降可選

    控制軟件

    MODBUS TCP/IP、I/O、RS485接口可選

    選配

    其他功能可根據要求選配或定制

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