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團簇轉運平臺
更新時間:2023-01-29 09:50:02 字號:T|T
提供定制化的Cluster團簇中心轉運平臺,用于將產品或襯底在各工藝腔室之間進行轉運,以便客戶進行二次開發。

       


1、產品用途
提供定制化的Cluster團簇中心轉運平臺,用于將產品或襯底在各工藝腔室之間進行轉運,以便客戶進行二次開發。

2、技術參數

基片規格

               2"—12"

工位數

               4工位、6工位、8工位

真空機械手

               華聚科技/進口

腔體材料

               鋁/不銹鋼

控制軟件

               MODBUS TCP/IP、I/O、RS485接口可選

選配

               其他功能可根據要求選配或定制

  
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