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    超高靈敏度氦質譜檢漏儀
    更新時間：2022-03-03 11:07:18 字號：T|T

     

    1、產品用途
            采用相對法和累積法，可檢漏率3×10-15Pa·m3/s ，可有效滿足真空壽命及要求較高的真空電子器件測試要求。

    2、技術參數
    極限真空度            ≤3×10-9mbar
    漏率檢測范圍            10-8～3×10-15Pa·m3/s
    工作響應時間：            ≤2s

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